Mikrodiafragmapump viitab mikrovaakumpumbale, millel on sisse- ja väljalaskeotsak, iga väljalaskeotsak, läbi sisemise mehaanilise seadme, et vaakumpumba sees olev membraan liiguks edasi-tagasi, ja võib jätkata vaakumi või negatiivse moodustamist. rõhk sissepääsu juures, mikropositiivse rõhu tekkimine väljalaskeotsiku juures; Töökeskkonnaks on peamiselt gaas, kompaktne instrument. Mikromembraanpumbal on kaks tööviisi, järgmised üksikasjad, et tutvustada mikromembraaniga vaakumpumba tööpõhimõtet.
Mikroelektriline membraanpump on mikro-alalisvoolumootor (üldpinge on 5 V, 12 V, 24 V mootor), mis juhib sisemist mehaanilist ekstsentrilist seadet ekstsentrilise liikumise tegemiseks, mida juhib ekstsentriline liikumine sisemise membraani edasi-tagasi liikumisega. Õhku suruva pumba õõnsuse fikseeritud mahuni (surveõhutuspunkt suletud, ventilatsiooniava moodustab mikropositiivse rõhu), tõmbetugevus, surveventilatsioon suletud, kui õhutuspunkt alarõhu tekkimisel), atmosfäärirõhk välismaailmaga vaakumpumba sisselaske rõhul erinevus, rõhuerinevuse toimel suunatakse gaasirõhk (imemine) pumbakambrisse, seejärel tühjendatakse ventilatsiooniavast.
Mikromembraanpump on kruvide pöörlemise kasutamine vedeliku imemiseks ja tühjendamiseks. Mikromembraanpumba keskmine kruvi aktiivsele kruvile, mida käitab jõuajami pöörlemine, kruvi mõlemal küljel, aktiivse kruviga vastupidises pöörlemises. Põhi- ja käitatavad kruvikeermed on kahekeermelised. Kruvide haakumise ning kruvi ja voodri sein tihedalt kokkulangemise tulemusena eraldatakse sisselaske- ja väljalaskeava vahelises mikromembraanpumbas ühte või mitmesse suletud ruumi. Kruvi pöörlemisel ja võrkumisel tekib vaakumpumba imemisküljel pidevalt tekkiv tihendatud ruum, imb kambrist tulev vedelik nende sekka ja kuna imemiskamber läheb piki kruvi aksiaalselt pidevalt edasi väljalaskeotsa, olema vedeliku väljalaskmisel suletud, iga ruum on nagu mutter kruvi pöörlemisel, mis liigub pidevalt edasi, see on mikromembraanpumba põhiline tööpõhimõte.